Name: トリオン ICP / RIE ドライエッチング - 標準操作手順 (Trion ICP / RIE Dry Etch - Standard Operating Procedures)
Uploaded: 2025-06-06T01:43:23.000Z
Duration: 14 min 38 s
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未来進行形

Hi, my name is Carlos Ruiz from the INRF, and today we'll be talking about our Trion etching system.

こんにちは、INRFのカルロス・ルイスです。今日はトリオンエッチングシステムについてお話します。

Our Trion system is both an IRE and an ICP, and it provides fluorine-based etching gases.

当社のTrionシステムは、IREとICPの両方を備え、フッ素系エッチングガスを供給します。

So here you'll find the overview of our system.

ここでは、私たちのシステムの概要を説明します。

ここにコントロールパネルがある。

We have our log-in so you can get billed, and we have a two-chamber system, one here where we load-lock, and here is the reactor chamber.

私たちは2つのチャンバー・システムを持っていて、1つはここでロードロックし、もう1つはリアクター・チャンバーです。

But before we start loading our sample and showing you how to use the tool, we've got to go over a couple of safety things.

しかし、サンプルをロードしてツールの使い方を紹介する前に、安全上の注意点をいくつか確認しておかなければならない。

まず、この看板が目に入るだろう。

This sign, whenever you see it, whether it's on this side or this side, means the tool should not be operated before checking some things in the chase.

この標識は、こちら側であろうとこちら側であろうと、いつでも目にすることができるが、チェイスのいくつかの点をチェックする前に工具を操作すべきではないことを意味している。

So a do not operate is a little more vague, a CDO is a more specific message.

つまり、"DO NOT OPERATION "はもう少し漠然としたもので、"CDO "はより具体的なメッセージだ。

Well, CDO, or Controlled Decomposition and Oxidation, is just a burn box that takes leftover chemicals that are not used during a reaction and burns them with oxygen in a high temperature.

さて、CDO（Controlled Decomposition and Oxidation）とは、反応中に使われなかった化学物質の残りを取り出し、酸素と一緒に高温で燃焼させる燃焼ボックスのことである。

Then this is released to the atmosphere so that whenever we have chemicals that need to be expelled into the atmosphere, they'll be more inert and less reactive.

そうすれば、大気中に排出する必要のある化学物質があるときはいつでも、より不活性で反応性の低いものにすることができる。

It's better for the environment and for safety.

その方が環境にも安全にもいい。

So it's important to make sure that tool is running in the background before we start using this tool because we don't want to pump any gases through and directly into the atmosphere.

だから、このツールを使い始める前に、バックグラウンドでそのツールが動いていることを確認することが重要だ。

この周波数は当社のターボポンプを指す。

So right now it is operating at 833 Hz, which is the normal operating frequency.

だから今は、通常の動作周波数である833Hzで動作している。

If you forget what it is, it's written up here.

それが何なのか忘れてしまったら、ここに書いてある。

だから、この数字になるはずだ。

If it's different, let's say 500 or 1000 or anything drastically different, you should inform staff before using the tool.

500とか1000とか、大幅に違う場合は、ツールを使う前にスタッフに知らせるべきだ。

It's normal for it to fluctuate by one or two digits.

1桁か2桁変動するのは普通だ。

Right above it we have a couple of emergency controls.

その真上には緊急用のコントロールがいくつかある。

We have the EMO, which is an emergency shut off.

EMOという緊急遮断装置がある。

これを押すと、ツールは停止する。

So in the case of a big emergency, a fire, an earthquake, and you have to shut off the tool, hit the button.

火災や地震などの緊急事態が発生し、工具を止めなければならなくなった場合、そのボタンを押してください。

We also have a red off button and a couple of other tools here that are not really used or intended for regular users.

また、赤いオフボタンや、一般ユーザーにはあまり使われない、あるいは意図されていないツールもいくつかある。

So in a few moments, we'll be going back in Chase and we're going to talk about some of the gases and the CDO box that we mentioned earlier.

もう少ししたら、チェイスに戻り、先ほど述べたいくつかのガスとCDOボックスについてお話しします。

So we're coming out of the try-on room, which is right here located in room 2339.

And right next door is our Chase in room 2343.

そして、そのすぐ隣が2343号室のチェイスだ。

Before we begin processing our sample, we need to check a couple of things here in the

サンプルの処理を開始する前に、ここでいくつかのことをチェックする必要がある。

This pump is responsible for our process chamber.

このポンプが私たちのプロセスチャンバーを担っている。

The pump below it is responsible for our load lock.

その下のポンプがロードロックを担っている。

You want to make sure both of these pumps are turned on and active.

これらのポンプが両方ともオンになっていて、アクティブになっていることを確認したい。

To tell, you put your hands near the pump and you're going to feel a lot of heat and vibration.

ポンプに手を近づけると、熱と振動が伝わってくる。

指を火傷しないように注意すること。

Over here, we also like to examine the oil level.

こっちではオイルレベルも調べたい。

The oil level should be within spec and that means the pump is good to go.

オイルレベルは規格内であるべきで、それはポンプが問題ないことを意味する。

Behind the pumps, you'll find the chill water supply.

ポンプの後ろに、冷えた水が供給されている。

This chill water supply is chill water to our RF network and also our process chamber.

この冷水供給は、RFネットワークとプロセスチャンバーへの冷水供給である。

一般的には18度前後に設定されている。

It can fluctuate a couple of C and that's fine.

2～3℃の変動があっても構わない。

A couple of gas lines you'll need to run the tool.

工具を動かすのに必要なガス管2本。

We have oxygen and nitrogen gas that need to be turned on.

酸素ガスと窒素ガスを供給する必要がある。

通常はここでスイッチを入れる。

However, we don't like regular users to turn them on.

しかし、一般ユーザーがそれをオンにするのは好ましくない。

私たちはスタッフがやるのを好む。

If you see a tag like this, that means the gas is not on.

このようなタグがあれば、ガスがオンになっていないことを意味する。

You want to go find staff and they'll turn it on for you.

スタッフを探せば、彼らがスイッチを入れてくれる。

When it's turned on, you'll see an in-use tag just like this.

オンにすると、このように使用中のタグが表示される。

ここに戻って、別のシリンダーがある。

We need this for the backside cooling of our sample so it has to be turned on as well.

サンプルの裏面冷却のために必要なので、これもオンにしなければならない。

Finally, to the left here, we have two more gases.

最後に、この左側にもう2つのガスがある。

Both use for different processing and they both share what is called a bellows valve which means only one of these gases can be turned on at once.

どちらも異なる処理に使用され、ベローズバルブと呼ばれるものを共有している。

So if your process requires one gas and the line is charged with another gas, you'll need to purge the line right here and recharge it with the gas you want to use.

つまり、あるガスが必要なプロセスで、ラインに別のガスがチャージされている場合、ここでラインをパージし、使用したいガスで再チャージする必要がある。

To test for this, you want to go check the logbook and see who ran what last and then you'll know which gas is currently in the line.

これをテストするには、日誌をチェックし、誰が最後に何を運転したかを調べれば、現在どのガスがラインに入っているかがわかる。

回線の変更はスタッフにお申し付けください。

We'll be happy to help you do that and it takes only a few minutes.

So just let us know ahead of time if you need to start your process and we'll have it all ready for you.

そのため、プロセスを開始する必要がある場合は、前もってお知らせください。

The last thing you want to check is our CDO which is right here.

最後にチェックしたいのは、ここにあるCDOだ。

Our CDO's condition is indicated by the lights here which should all be green.

CDOの状態は、ここにあるランプがすべて緑色であることを示している。

If you see any of these red lights lit up, something failed and that could be a number of things.

これらの赤いランプのどれかが点灯していたら、何かが故障している。

So this is based off conditions on the temperature and also the flow of fluids and gases.

つまり、これは温度と流体と気体の流れに関する条件に基づいている。

Here you'll see the temperature of the CDO.

ここでCDOの温度を見ることができる。

It must be between the range of these two notches.

この2つのノッチの範囲内でなければならない。

Right now you see it's right there in the middle so it's good.

今はちょうど真ん中だからいい。

That means our temperature passes and on the left, you see a couple of little beads flowing up.

左側には、小さなビーズがいくつか流れている。

This indicates the levels of our oxygen, nitrogen, and water.

これは酸素、窒素、水のレベルを示している。

These are all set by the staff so please don't edit these or mess with them.

これらはすべてスタッフが設定したものなので、編集したりいじったりしないでほしい。

If you need help, of course, inform the staff.

助けが必要な場合は、もちろんスタッフに伝えてください。

If these seem to be a little skewed, again, just tell the staff and we'll be happy to help you out.

もしこれらが少し偏っているようであれば、スタッフに言ってください。

So assuming everything is green and good to go, you're ready to run your process.

つまり、すべてがグリーンで問題ないと仮定すれば、プロセスを実行する準備が整ったことになる。

So now that we've returned from the chase and made sure that all the gases and the pumps and everything is operational back there, we're ready to start using the tool.

さて、追跡から戻り、すべてのガスとポンプが使えることを確認したら、いよいよ道具を使い始める準備だ。

So to load a wafer, first you want to make sure that there's no wafer already loaded.

ウェハーをロードするには、まず、すでにロードされているウェハーがないことを確認する。

Sometimes the tool, even though it's supposed to indicate whether the wafer is loaded or not, may have wafer in there.

ウェハがセットされているかどうかを示すはずのツールに、ウェハが入っていることがある。

So you want to just briefly peek into the chamber with a flashlight.

だから、懐中電灯でチャンバーを簡単に覗くだけにしておきたい。

It's hard to show on the camera but I'm just going to demonstrate how you would do it.

カメラでお見せするのは難しいのですが、どうやるかを実演します。

There's a window here that you can poke and look in there to see if the wafer is loaded.

ここに窓があり、ウェハが装填されているかどうかを覗き込むことができる。

So just check there and make sure there's no wafer.

だから、そこをチェックして、ウエハースがないことを確認するんだ。

We already checked so there's no wafer right now but that's how you would check.

すでに確認したので、今はウエハースはないが、そうやって確認するものだ。

You have a flashlight that's available at the front office or just laying around, you might find one.

フロントにある懐中電灯か、その辺に転がっている懐中電灯があれば、見つかるかもしれない。

So once we know that there's no sample already loaded, we can load our sample.

つまり、すでにロードされているサンプルがないことがわかれば、サンプルをロードすることができる。

So to do that, we click load wafer on the screen.

そのためには、画面上のロード・ウェハーをクリックする。

It'll ask you, do you wish to vent the load lock?

ロードロックを解除しますか？

So by vent it means it's going to push nitrogen in here to allow you to open the vent.

つまりベントとは、窒素をここに押し込んでベントを開けられるようにするということだ。

It takes about half a minute and then this will slowly come up to atmospheric pressure.

約半分の時間をかけて、ゆっくりと大気圧まで上がってくる。

So once our chamber has vented, we can now begin to load our sample.

チャンバーが排気されたら、今度はサンプルの充填を開始する。

You open this hatch and here we have the erector arm with a space for our sample.

このハッチを開けるとイレクターアームがあり、サンプルを入れるスペースがある。

To load a sample, you simply use your tongs and you can put it in.

サンプルを入れるには、トングを使えばいい。

字幕リスト動画再生

トリオン ICP / RIE ドライエッチング - 標準操作手順 (Trion ICP / RIE Dry Etch - Standard Operating Procedures)

process

recipe

atmosphere

pressure