toroid
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・UK
A1 初級
n.名詞トロイド
動画字幕
スタンフォード・ナノファブリケーション・ファシリティ：ドライエッチング - プラズマの基礎と装置の種類（全4部中パート2） (Stanford Nanofabrication Facility: Dry Etching - Basics of Plasmas & Types of Tools (Part 2 of 4))
- I'm going to have, I have RF going to a coil at the outside of the plasma, and what it does, it induces a toroid of plasma, so I have, let's say, three or five turns in the outside of the plasma, and I have a one-turn toroid in the center of my plasma.
プラズマの外側にあるコイルにRFを流して、プラズマのトロイダルを誘導する。
- But always think of it, we're inducing a single toroid of plasma in an ICP, and I'll show you how we use that to get, we can get a uniform plasma out of it, and we can control, separately, we can control the ion energy.
しかし、常に考えてみてください。私たちはICPで単一のトロイダル状のプラズマを誘導しているのです。それを使って、均一なプラズマを得る方法をお見せしましょう。